Описание
Электронно-зондовый микроанализатор — это прорыв в области микроанализа с передовой технологией катода с полевой эмиссией (катод Шоттки).
Новая электронно-оптическая система обеспечивает беспрецедентное пространственное разрешение при любых токах зонда, от РЭМ наблюдения до 1 мкА.
- Разрешение во вторичных электронах составляет 3 нм.
-
Стабильный электронный пучок, который также имеет высокий ток зонда (3мкА) позволяет достичь высокого пространственного разрешения и чувствительности.
-
Отсутствует необходимость менять апертуру объектива во всем диапазоне токов, благодаря запатентованному дизайну колонны.
- Двухстадийная система вакуумирования обеспечивает постоянный высокий вакуум в камере электронной пушки и, соответственно, высокую стабильность пучка, необходимую для прецизионного микроанализа.
- Одновременно могут быть установлены до пяти высокопроизводительных 4-дюймовых волновых спектрометров.
- Благодаря автоэмиссионная электронная пушка с катодом Шоттки высокой яркости можно уменьшить диаметр пучка в 2 – 10 раз и обеспечить сверхвысокое пространственное разрешение во всем диапазоне ускоряющих напряжений.
В зависимости от решаемых задач могут дополнительно устанавливаться:
- модуль наблюдения в проходящем поляризованном свете
- приставка для образцов с функцией вращения
- держатели для образцов различных размеров, включая термостатированные
- модуль катодолюминесценции
